[发明专利]基于级联双环谐振腔游标效应的光学加速度计芯片在审
| 申请号： | 202210522287.9 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN115128301A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 佘玄;刘亚康;孙培基;毕然;陈侃;舒晓武 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/093;G01P13/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于级联双环谐振腔游标效应的光学加速度计芯片。包括宽谱光源、模斑转换器、光隔离器、敏感单元、上电极、下电极、F‑P腔、第一Y波导、第二Y波导、2:1型Y波导、第一光功率计、第二光功率计、解调反馈电路、铌酸锂单晶薄膜层、二氧化硅氧化层、硅衬底、封装外壳。本发明具有两个独立的光学谐振腔：施加x向加速度，第一环形波导与椭圆盘间距改变，造成谐振波长的偏移，可以同时获得加速度的大小与方向；两个谐振腔的半径有微小差异，利用光学谐振腔输出光干涉产生的游标效应可以放大第一环形波导谐振波长的频移信号。本发明体积小、精度高、制造工艺简单，抗电磁干扰，有较高的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 级联 谐振腔 游标 效应 光学 加速度计 芯片 | ||
【主权项】：
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