[发明专利]阀在审
| 申请号： | 202210524117.4 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN115095684A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 郑光伟;刘勇村;李志聪;倪其聪 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K7/12 | 分类号： | F16K7/12;F16K37/00;C23C16/455;C23C16/52 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 可以检测及/或确定阀的隔膜位置，从而可以监测隔膜的操作。包括在阀中的感应器可以产生感应器数据，感应器数据可以用于监测隔膜的位置，其又可以用于确定通过阀的流体的流动。这样，感应器可以用于确定隔膜是否正常工作、可以用于识别和检测隔膜的故障、及/或可以用于快速终止相关联于沉积工具的操作。这可以减少半导体基板废品、可以减少由沉积工具处理的半导体基板上的装置故障、可以提高沉积工具的半导体处理品质、及/或可以增加沉积工具的半导体处理产量。 | ||
| 搜索关键词： | 阀 | ||
【主权项】：
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