[发明专利]差分电容式纤毛水听器及其制造方法在审
| 申请号： | 202210525262.4 | 申请日： | 2022-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN114955979A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 王任鑫;张文栋;李照东;张国军;何常德;杨玉华;崔建功 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01H11/06 |
| 代理公司： | 太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙) 14111 | 代理人： | 张宏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种差分电容式纤毛水听器及其制造方法，属于水下声纳传感器制造技术领域。本发明差分电容式纤毛水听器结构包括纤毛体、连接梁、中心连接体、上电极、钝化层、介质层、下电极、基底层等；制备方法，使用COMS‑MEMS单片集成工艺，在COMS工艺的后端层设置器件的结构，电路信号处理电子层在器件结构下方集成，各金属层间通过金属钨塞连接。由COMS‑MEMS单片集成工艺制备的差分电容式纤毛水听器具有一致性好、集成化、频带宽、灵敏度高、易封装、可批量生产等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 纤毛 水听器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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