[发明专利]用于光纤和混合表面等离子体波导耦合的变迹光栅耦合器有效
| 申请号： | 202210539580.6 | 申请日： | 2022-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN114924352B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 高士明;谭浩洋;管小伟 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/24 | 分类号： | G02B6/24;G02B6/124;G02B6/122;G02B6/14;G02B6/12 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于光纤和混合表面等离子体波导耦合的变迹光栅耦合器。硅基混合表面等离子体波导、两级锥形模式转换器和变迹耦合光栅均由从上到下层叠布置的覆盖层、硅层、氧化层、金属衬底层和硅基底构成，硅基混合表面等离子体波导与两级锥形模式转换器的输出端连接，两级锥形模式转换器的输入端与变迹耦合光栅连接。本发明充分利用了变迹光栅有效提高方向性系数和减小耦合模场不匹配度的优点，又利用了两级锥形模式转换器减少模式转换过程中高阶模的激发从而进一步提高耦合效率，同时金属衬底既作为硅基混合表面等离子体波导的一部分，又在光栅中作为衬底反射镜起到激发混合表面等离子体模式和降低衬底辐射损耗的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光纤 混合 表面 等离子体 波导 耦合 光栅 耦合器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210539580.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
