[发明专利]一种感光性树脂组合物及其干膜抗蚀层压体在审

专利信息
申请号: 202210541330.6 申请日: 2022-05-17
公开(公告)号: CN114859656A 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 詹志英;吴强;朱高华;李伟杰;宋赣军 申请(专利权)人: 杭州福斯特电子材料有限公司
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/027;G03F7/09;C08F218/00;C08F212/08;C08F220/14;C08F220/06;C08F218/08;C08F220/34
代理公司: 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 代理人: 沈涛
地址: 311300 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种感光树脂组合物及其干膜抗蚀层压体,属于印刷线路板技术领域。一种感光性树脂组合物,包括碱溶性树脂、光聚合性单体和光引发剂,所述的碱溶性树脂至少包括由乙烯基碳酸酯Ⅰ单体形成的链段,所述的乙烯基碳酸酯Ⅰ为带苯环的乙烯基碳酸酯。本发明采用含有苯环结构的乙烯基碳酸酯Ⅰ调配感光性树脂组合物,除了具有优异的分辨率和附着力外,还由于乙烯基碳酸酯Ⅰ单体形成的链段会分解形成带羟基的结构和CO2,使得在退膜过程中能够与退膜液发生相互作用,有利于固化抗蚀图案的剥离,同时放出的气体会加速剥离过程,使之具有较快的退膜速度,从而提高了生产效率。
搜索关键词: 一种 感光性 树脂 组合 及其 干膜抗蚀 层压
【主权项】:
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