[发明专利]一种半导体检测方法、装置以及计算机可读存储介质有效
| 申请号： | 202210544301.5 | 申请日： | 2022-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN114648528B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 韩娜;孙罗男 | 申请（专利权）人： | 江苏第三代半导体研究院有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 陈华红子;唐灵 |
| 地址： | 215101 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体检测方法、装置及计算机可读存储介质，基于训练集样本的各类性能表征参数、不同检验图像和标记等级，对与各类性能表征方式对应的多层神经网络模型、与不同检验图像对应的卷积神经网络模型进行单训练，并在各神经网络模型的误识别率不大于预值后，对所有神经网络模型进行组合训练，进一步降低了各神经网络模型的误识别率；根据半导体产品类型设置各神经网络模型的权重，融合各模型输出结果。本发明所提供的方法、装置及计算机可读存储介质，根据半导体制作工艺中的不同检测设备检测得到的表征参数和检验图像的不同，建立异构神经网络对衬底或外延片的等级进行检测，减少了测试人员的人为参与工作量，提高了检测效率和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 检测 方法 装置 以及 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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