[发明专利]用于真空镀膜的挂装载具、上下料设备和连续真空镀膜系统在审
| 申请号： | 202210547168.9 | 申请日： | 2022-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN114990512A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 孙晨皓;贾逸轩;杨培勇;刘浩;陆维;卢华兴 | 申请（专利权）人： | 国家电投集团氢能科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56;B65G47/91 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 廉世坤 |
| 地址： | 102209 北京市昌平区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空镀膜的挂装载具、上下料设备和连续真空镀膜系统。挂装载具包括：本体，所述本体具有镀膜窗口，所述镀膜窗口沿第一预设方向贯通所述本体；和压制件，所述压制件在压制工件的压制位置和脱离工件的脱离位置之间可转动地设在所述本体上，位于所述压制位置的所述压制件与所述本体配合以便将工件压制在所述本体上。通过利用根据本发明实施例的用于真空镀膜的挂装载具，可以提高工件挂装和卸料的自动化程度、提高工件的挂装和卸料效率、降低人力成本、提高产品合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 装载 上下 设备 连续 系统 | ||
【主权项】：
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