[发明专利]半导体清洗设备及其混液装置在审
| 申请号： | 202210550832.5 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN114893595A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 赵益春;韩国清 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16K17/02 | 分类号： | F16K17/02;F16K27/02;H01L21/67;B01F33/40 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种半导体清洗设备及其混液装置，所公开的混液装置，包括暂存容器、第一液体输入管路、混液容器、泄压机构和驱动气体管路，其中：所述第一液体输入管路的液体输出端与所述暂存容器连通，所述暂存容器的出液部与所述混液容器连通，所述驱动气体管路的输气端与所述暂存容器连通，以用于向所述暂存容器输入驱使所述暂存容器内的第一液体流向所述混液容器的驱动气体，所述泄压机构连接于所述暂存容器，且与所述暂存容器的内腔连通，在所述暂存容器内气体的实际压力大于第一预设压力值的情况下，所述泄压机构处于泄放气体状态。上述方案可以解决由于暂存容器内的实际压力高出工作压力较大时，容易导致暂存容器发生损坏的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 清洗 设备 及其 装置 | ||
【主权项】：
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