[发明专利]一种磁场探测器及其制备方法在审
申请号: | 202210552563.6 | 申请日: | 2022-05-20 |
公开(公告)号: | CN115113108A | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 程乾;周麟;葛玉卿;毛红菊;赵建龙 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G01R33/02 | 分类号: | G01R33/02;G01R33/12;H01L43/10;H01L43/02;H01L43/12 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 杨怡清;熊俊杰 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种磁场探测器及其制备方法,磁场探测器包括衬底以及设置在所述衬底上的栅极和至少一对源极和漏极,所述源极和所述漏极之间形成导电沟道,所述导电沟道为石墨烯,所述导电沟道上覆盖有蛋白膜保护层,所述蛋白膜保护层上连接有磁感应蛋白。本发明具有小型化,数字化以及可集成的优点,其能够增强放大生物磁感应蛋白对磁场激励信号的响应,且能够以高采样率和多位分辨率的数据采集系统实现磁感应蛋白与磁场强度之间的映射,能够检测的最弱磁场强度为10gs(1mT)。 | ||
搜索关键词: | 一种 磁场 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所,未经中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202210552563.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。