[发明专利]一种硅片酸洗装置在审
| 申请号： | 202210552745.3 | 申请日： | 2022-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN114686901A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 周文;刘勇勋;魏航;王文彬;杨佐东 | 申请（专利权）人： | 重庆芯洁科技有限公司 |
| 主分类号： | C23G3/00 | 分类号： | C23G3/00 |
| 代理公司： | 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙) 50221 | 代理人： | 雷钞 |
| 地址： | 401326 重庆市九龙*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片酸洗装置，属于酸洗技术领域，包括酸洗管，所述酸洗管内设置有酸洗单元，酸洗单元均包括转动环、矩形酸洗下框以及酸洗板，转动环通过连接轴与酸洗管转动连接，酸洗下框一端的连接有固定管，转动环的内部设有翻转电机，翻转电机的动力端与固定管固定连接，酸洗下框另一端连接在转动环上；酸洗板上开有若干通槽，通槽的四周均开有四个容纳槽，容纳槽内均设有转动组，每个转动组均包括连接在容纳槽内的转动电机和转动气缸，转动气缸连接有开有滑槽的固定块，滑槽中部设置有相向分布的两个夹持气缸，两个夹持气缸的输出端均连接夹持板，本申请能够解决现有技术中因硅片堆积在一起而导致对硅片酸洗效果不理想的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 酸洗 装置 | ||
【主权项】：
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