[发明专利]低硅低氧三甲基铝提纯方法有效
| 申请号： | 202210555806.1 | 申请日： | 2022-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN114835740B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 邢怀勇;朱熠;吉敏坤;郭锦源;孙明璐;陈化冰 | 申请（专利权）人： | 江苏南大光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C07F5/06 | 分类号： | C07F5/06 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及低硅低氧三甲基铝提纯方法，首先制备担载钾钠合金小球，利用担载钾钠合金小球对粗品三甲基铝处理；将担载钾钠合金小球与粗品三甲基铝分离；对处理后三甲基铝进行精馏；高纯三甲基铝杂质含量检测；使钾钠合金吸附在小球表面，加大钾钠合金与三甲基铝的接触和反应面积，担载钾钠合金小球在除杂反应容器中与粗品三甲基铝混合搅拌，或将担载钾钠合金小球置于层析/填料柱内，使三甲基铝通过层析/填料柱，通过小球高比表面对三甲基铝的吸附和脱附，小球表面的钾钠与三甲基铝的充分接触和反应，高效地除去三甲基铝中的有机硅杂及氧杂，处理后的三甲基铝溶液精馏，得到低硅低氧高纯三甲基铝产品；满足生产高性能化合物半导体材料指标要求。 | ||
| 搜索关键词： | 低氧 甲基 提纯 方法 | ||
【主权项】：
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