[发明专利]LCOS显示器及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202210558033.2 申请日: 2022-05-19
公开(公告)号: CN114815340A 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 许冠军;唐利军;张士伟 申请(专利权)人: 豪威半导体(上海)有限责任公司
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13;G02F1/1339
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 沈宗晶
地址: 201611 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种LCOS显示器及其制作方法,所述制作方法包括:提供一硅基底与一玻璃基底,在所述硅基底上形成多个框胶图形,相邻所述框胶图形之间具有切割道,每个所述框胶图形的注入口跨过所述切割道之后组成闭环;将形成有所述框胶图形的所述硅基底与所述玻璃基底进行贴合;根据所述切割道进行切割工艺,分别切割部分厚度的所述硅基底与部分厚度的所述玻璃基底;以及对所述硅基底与所述玻璃基底进行裂片工艺,形成多个由硅基底单元与玻璃基底单元组成的晶盒。在切割过程中若发生透切异常导致产品进水,由于框胶图形是闭环,能够有效阻止水进入晶盒,避免晶盒污染造成的报废,从而提高产品的良率。
搜索关键词: lcos 显示器 及其 制作方法
【主权项】:
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