[发明专利]LCOS显示器及其制作方法在审
申请号: | 202210558033.2 | 申请日: | 2022-05-19 |
公开(公告)号: | CN114815340A | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 许冠军;唐利军;张士伟 | 申请(专利权)人: | 豪威半导体(上海)有限责任公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02F1/1339 |
代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 沈宗晶 |
地址: | 201611 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种LCOS显示器及其制作方法,所述制作方法包括:提供一硅基底与一玻璃基底,在所述硅基底上形成多个框胶图形,相邻所述框胶图形之间具有切割道,每个所述框胶图形的注入口跨过所述切割道之后组成闭环;将形成有所述框胶图形的所述硅基底与所述玻璃基底进行贴合;根据所述切割道进行切割工艺,分别切割部分厚度的所述硅基底与部分厚度的所述玻璃基底;以及对所述硅基底与所述玻璃基底进行裂片工艺,形成多个由硅基底单元与玻璃基底单元组成的晶盒。在切割过程中若发生透切异常导致产品进水,由于框胶图形是闭环,能够有效阻止水进入晶盒,避免晶盒污染造成的报废,从而提高产品的良率。 | ||
搜索关键词: | lcos 显示器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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