[发明专利]一种同轴位移检测的光学方法在审
申请号: | 202210558444.1 | 申请日: | 2022-05-20 |
公开(公告)号: | CN114812402A | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 张巍巍;伍林芳;伏燕军 | 申请(专利权)人: | 南昌航空大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 深圳市智旭鼎浩知识产权代理事务所(普通合伙) 44746 | 代理人: | 周超 |
地址: | 330000 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明涉及一种同轴位移检测的光学方法,该方法用两种不同荧光色的荧光材料在被测物体表面涂覆圆形的标记图案,在图案中两种荧光材料的填充比沿圆的径向渐变;激发光自探头出射形成锥形光束,光束的直径随离探头的同轴距离增加而增大;标记图案上被激发光覆盖的圆形区间内的两种荧光材料被激发出荧光,荧光中包含分别源于两种荧光材料的两个波段,两个波段的光强的比例随标记图案到探头的同轴距离而改变;从而,通过标记图案的荧光特征数值就可以得知被测物体表面相对探头的同轴位移。本发明给出了检测被测物体相对于探头的同轴位移的方法,具有抗干扰、高精度、低成本的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 同轴 位移 检测 光学 方法 | ||
【主权项】:
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