[发明专利]一种氧化铝叉指湿度传感器的制作方法和叉指湿度传感器在审
| 申请号： | 202210559997.9 | 申请日： | 2022-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN115032245A | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 乔宝伟;陈行柱;罗刚;刘争 | 申请（专利权）人： | 飞思仪表（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 陈方 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及湿度传感器技术领域，具体公开了一种氧化铝叉指湿度传感器的制作方法和叉指湿度传感器，制作方法包括如下步骤：S1、准备印制有叉指电极的基板、制备氧化铝溶胶、制备碱腐蚀液；S2、制备氧化铝膜：在叉指电极以及基板表面浸涂氧化铝溶胶，然后在惰性气体下，升温至70‑90℃下，保温处理1‑3h，升温至300‑500℃，焙烧处理4‑8h，升温至900‑1000℃，焙烧处理1‑3h，降温，得到初成品；S3、后处理：将初成品放置在碱腐蚀液中，浸渍处理，去除氧化铝膜中的γ‑氧化铝，取出，水洗，烘干，得到叉指湿度传感器。该叉指湿度传感器具有高湿敏性、低校正漂移、高长期使用稳定性、高使用寿命的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化铝 湿度 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
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