[发明专利]一种温度补偿型声表面波滤波器在审

专利信息
申请号: 202210571685.X 申请日: 2022-05-24
公开(公告)号: CN114978101A 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 王巍;滕洪菠;王方;张迎;袁军;夏旭;丁辉;稅绍林;张涛洪 申请(专利权)人: 重庆邮电大学
主分类号: H03H9/64 分类号: H03H9/64;H03H9/02;H03H9/145
代理公司: 重庆市恒信知识产权代理有限公司 50102 代理人: 刘小红
地址: 400065 重*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明请求保护一种温度补偿型声表面波滤波器,其包括滤波器压电基底、金属电极、SiO2温度补偿层和ZnO温度补偿层;其中金属电极位于压电基底上,SiO2温度补偿层位于压电基底上且不与金属电极重合的部分,ZnO温度补偿层位于SiO2温度补偿层上。本发明在0.2λ(λ为叉指周期)厚度的SiO2薄膜上覆盖ZnO薄膜,通过增加ZnO薄膜厚度,改善器件温度稳定性;当ZnO薄膜厚度为0.2λ时,即总膜厚为0.4λ时,频率温度系数(TCF)为‑9.94ppm/℃。在频率温度系数≤‑10ppm/℃的情况下,本发明相比于传统的温度补偿型声表面波滤波器,总膜厚减少了27%,器件性能也得到改善。
搜索关键词: 一种 温度 补偿 表面波 滤波器
【主权项】:
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