[发明专利]氢氟烯烃蚀刻气体混合物在审
| 申请号： | 202210571715.7 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN114752386A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | G.李;M.J.纳帕;T-C.李;H-C.李 | 申请（专利权）人： | 得凯莫斯公司弗罗里达有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00;C11D7/30;C23C16/44;C23C16/50;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王琳;李唐 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及氢氟烯烃蚀刻气体混合物。本发明涉及用于清除CVD室中表面沉积物的氢氟烯烃组合物，还涉及使用通过在所述室内或远距室内激活气体混合物产生的活化气体混合物，从所述化学气相沉积室内部清除表面沉积物的方法，其中所述气体混合物包含氢氟烯烃。 | ||
| 搜索关键词： | 烯烃 蚀刻 气体 混合物 | ||
【主权项】：
暂无信息
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