[发明专利]一种光学检测装置及光学检测的复检方法在审
| 申请号： | 202210573663.7 | 申请日： | 2022-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN115096910A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;王天民;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学检测装置，包括：所述处理器用于对所述扫描相机拍摄的图像进行特征检测，得到缺陷位置分布；所述光学检测装置还包括第一支架以及设置在所述第一支架上的第一复检相机、第二支架以及设置在所述第二支架上的第二复检相机；所述处理器用于控制所述第一复检相机在所述第一支架上沿第二方向移动，控制所述第二复检相机在所述第二支架上沿第二方向移动；所述处理器还用于根据缺陷位置分布规划所述第一复检相机和所述第二复检相机的复检路线。本发明实施例可提高检测效率，提高检测准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 检测 装置 复检 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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