[发明专利]一种铝钪靶材的制备方法在审
申请号: | 202210574325.5 | 申请日: | 2022-05-24 |
公开(公告)号: | CN114951666A | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 李安军 | 申请(专利权)人: | 湖南金坤新材料有限公司 |
主分类号: | B22F9/04 | 分类号: | B22F9/04;B22F3/14;B22F3/15;C22C1/02;C22C21/00;C22C28/00;C23C14/34 |
代理公司: | 湖南正则奇美专利代理事务所(普通合伙) 43105 | 代理人: | 张继纲 |
地址: | 412000 湖南省株洲市天元区黄河北*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明涉及一种铝钪靶材的制备方法,将金属铝和金属钪按一定比例进行混合熔炼,得铝钪合金,铝钪合金中钪含量为2at%或43at%;将铝钪合金进行粉碎处理,得铝钪合金粉末;将铝钪合金粉末按一定比例进行混合,得混合铝钪合金粉末;在氩气气氛保护下,将混合铝钪合金粉末进行热压处理,得铝钪模锭;将铝钪模锭进行加工,得铝钪靶材。其中,铝钪合金粉末相对于纯钪粉末和纯铝粉末,不易氧化,也不用考虑铝钪合金本身的偏析,大幅提高了铝钪靶材的品质。同时,通过只生产钪含量为43at%和钪含量为2at%的铝钪合金,再将两种钪含量不同的铝钪合金进行混合,就可以得到钪含量在2‑43at%的铝钪靶材,可以缩短生产时间,提高效益。 | ||
搜索关键词: | 一种 铝钪靶材 制备 方法 | ||
【主权项】:
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