[发明专利]一种用于检测硫含量的氧化锌-二氧化钛传感器及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202210575319.1 | 申请日： | 2022-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN114994140B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 程新群;高云智;张兴文;王泽宜 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/06 | 分类号： | G01N27/06;C23C14/08;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/58 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 王新雨 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种用于检测硫含量的氧化锌‑二氧化钛传感器及其制备方法与应用，属于传感器领域。本发明的目的是为了解决现有柴油硫含量检测方法便携性差、成本高、效率低等问题，所述传感器包括绝缘的氧化铝陶瓷基底，陶瓷基底上覆盖一层叉指电极和采用磁控溅射法沉积在陶瓷基底上的氧化锌‑二氧化钛薄膜，该氧化锌‑二氧化钛薄膜可以在柴油中稳定存在，会随柴油中硫化物含量而改变氧化锌‑二氧化钛薄膜的电导率。本发明采用磁控溅射技术在氧化铝陶瓷上制备的氧化锌‑二氧化钛复合薄膜均匀致密，附着力强，在柴油中长时间浸泡不会出现脱落的问题。制备方法简单，并且制备的基于磁控溅射制备的氧化锌‑二氧化钛的硫传感器具有较好的重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 含量 氧化锌 氧化 传感器 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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