[发明专利]整体式氮气吹扫装置和干式真空泵在审
| 申请号： | 202210580048.9 | 申请日： | 2022-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN114837944A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 沈文武;周贤忠;周阳;刘滔;侯亚旅;何建修;谌绍飞;游诗琪;聂小波 | 申请（专利权）人： | 四川莱斯特真空科技有限公司 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C29/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 冯洁 |
| 地址： | 610000 四川省成都市天府新区新*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了一种整体式氮气吹扫装置和干式真空泵，涉及半导体技术领域。整体式氮气吹扫装置包括模块主体以及安装在模块主体上的进气单向阀、减压阀和主路电磁阀，模块主体内部开设有气道，还开设有与气道连通的多个出气口，每个出气口内安装有限流螺钉，进气单向阀用于连接氮气源，通过气道，进气单向阀、减压阀、主路电磁阀以及出气口依次连通。整体式氮气吹扫装置能够对泵体上的多个位置进行氮气吹扫，而且每个位置的氮气流量可以灵活调节，氮气的线路布置集成度高、占用空间小。 | ||
| 搜索关键词： | 整体 氮气 装置 真空泵 | ||
【主权项】：
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