[发明专利]薄膜生长装置、方法及二氧化钒薄膜生长方法

摘要

本发明涉及纳米材料薄膜生长技术领域，具体涉及一种薄膜生长装置及薄膜生长方法；尤其涉及一种二氧化钒薄膜生长方法；薄膜生长装置包括散热旋转台、载物旋转盘、石英管、管式炉、直角喷雾脉冲控制架和纳米喷雾器；纳米喷雾器的喷嘴垂直于载物旋转盘；载物旋转盘与散热旋转台连接，散热旋转台旋转，带动载物旋转盘运动；载物旋转盘上设有多个载物槽；石英管上设有第一侧开槽，管式炉上设有第二侧开槽；石英管穿设于管式炉中，第一侧开槽与第二侧开槽匹配；载物旋转盘上的至少一个载物槽位于第一侧开槽内。通过本发明的薄膜生长装置及方法生长二氧化钒薄膜，生长效率更高，且所得到的二氧化钒薄膜具备中红外光开关效应。