[发明专利]一种耐高温高湿湿度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210585553.2 | 申请日： | 2022-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN115201283A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 张宾;李婷;陈新准;赵罗恒;谢傲臻;朱瑞;邱国财;陈善任;傅凯强 | 申请（专利权）人： | 广州奥松电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 广州华享智信知识产权代理事务所(普通合伙) 44576 | 代理人： | 代春兰;梁顺珍 |
| 地址： | 510765 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种耐高温高湿湿度传感器，包括硅晶圆和湿敏膜；所述硅晶圆包括硅基底、形成在硅基底上的金属电极；所述湿敏膜形成在所述金属电极表面；所述湿敏膜采用反应体系中引入光敏基团和多官能度胺所得到的交联型聚酰胺酸薄膜。本申请还公开了一种耐高温高湿湿度传感器的制备方法。本申请所述的耐高温高湿湿度传感器采用含氟交联型聚酰亚胺薄膜作为湿敏膜，降低了湿敏膜的吸湿率和介电常数，赋予湿敏膜耐热、稳定、耐水解等性能；降低了湿度传感器的湿度偏差，提其高测量精准度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐高温 湿湿 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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