[发明专利]一种Roll-to-Roll化学机械抛光装置及方法在审
| 申请号： | 202210592386.4 | 申请日： | 2022-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN114918817A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 逄明华;王占奎;苏建修;翟帅杰;马利杰;李勇峰;胡楠;杜留锋;赵红远;张亚奇;吴婷婷 | 申请（专利权）人： | 河南科技学院 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34;B24B37/005;B24B1/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 杜阳阳 |
| 地址： | 453000 河南省新*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Roll‑to‑Roll化学机械抛光装置及方法，该装置包括：抛光机构，用于对待抛光的衬底材料进行抛光；抛光包括：粗抛、半精抛和精抛；检测机构，与抛光机构连接，用于采集完成抛光的衬底材料的表面图像数据；上位机，分别与抛光机构和检测机构连接，用于根据表面图像数据通过神经网络算法生成抛光评价结果，并将抛光评价结果传输给抛光机构；抛光机构还用于根据抛光评价结果调整抛光参数；抛光参数包括衬底材料进料速度、抛光液流量、研抛轮转速、抛光界面压力、气体压力值和冲洗压力值。本发明采用神经网络算法对采集的参数进行实时的评估，提升工件表面加工质量以及化学机械抛光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 roll to 化学 机械抛光 装置 方法 | ||
【主权项】：
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