[发明专利]一种细长不锈钢管内壁沉积纳米SiC涂层的方法及装置

摘要

一种细长不锈钢管内壁沉积纳米SiC涂层的方法，属于涂层制备技术领域。所述方法为：基于螺旋波等离子体源，先向真空室内通入Ar对细长不锈钢管进行离子轰击，清洗掉表面杂质，然后向真空室内充入Ar和Si(CH3)4的混合气体，该混合气体在螺旋波源作用下被激发电离，在不锈钢管内产生等离子体密度大于1019m‑3的高密度等离子体柱，然后在工件上施加脉冲负偏压，在其内表面沉积纳米SiC薄膜。本发明操作简单、方便、容易实现、易于工业化生产，可以在不需要加热的条件下或者保证不锈钢细长管基体在处理过程中不变形的前提下，制备与基体结合力强、硬度高、耐磨损的SiC涂层的方法，其提高了在恶劣环境下工作的不锈钢细长管的使用寿命。