[发明专利]一种纳米级针尖状透射电镜样品的制备方法在审
| 申请号： | 202210595583.1 | 申请日： | 2022-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN114964968A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 李慕鸿;申华海;邹成琴;周晓松 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N23/20008 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 任荣坤 |
| 地址： | 621999*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米级针尖状透射电镜样品的制备方法。该方法包括以下主要步骤：(1)在目标区域沉积碳化物保护层，切割获得长方体样品；(2)将长方体样品转移至微柱，利用铂碳化物沉积使之固定于微柱顶部中央；(3)利用聚焦离子束对长方体样品进行环状减薄，制备出具有环状保护层的微米级圆柱状样品；(4)采用聚焦离子束对圆柱状样品顶端进行逐级减薄，制备得到尖端直径小于30nm、锥角小于30°、薄区(直径小于80nm)长度大于50nm的纳米级针尖状透射电镜样品。该技术解决了针尖状透射电镜样品尖端易晃动、易弯曲损坏的问题，可有效制备得到具有极薄尖端的纳米级针尖状样品，实现了对样品气泡、孔道及析出相的三维空间信息高分辨分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 针尖 透射 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
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