[发明专利]一种百微米级透射电镜样品的制备方法在审

专利信息
申请号: 202210595584.6 申请日: 2022-05-26
公开(公告)号: CN114964969A 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 申华海;邹成琴;李慕鸿;周晓松 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院核物理与化学研究所
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28;G01N23/20008
代理公司: 中国工程物理研究院专利中心 51210 代理人: 任荣坤
地址: 621999*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明提出了一种百微米级透射电镜样品的制备方法。该具体如下:(1)沉积碳化物保护层,切割百微米级的薄片样品;(2)在样品转移针和薄片样品顶部间隙中沉积铂碳化物完成薄片样品的粘接;(3)将薄片样品移动至微柱顶部,在薄片样品与微柱之间沉积铂碳化物完成薄片样品的固定;(4)对薄片样品前后侧部分区域进行减薄,保留薄片样品左侧、右侧和底部一定宽度范围为未减薄区域,即得百微米级透射电镜样品。该方法不仅克服了大尺寸透射电镜样品易弯曲、卷曲或破损的缺点,还实现百微米级透射电镜样品的制备,其观测范围宽广,满足对材料显微组织结构的统计性认识,提高分析结果的可靠性,在材料的透射电子显微分析领域具有重要的应用前景。
搜索关键词: 一种 微米 透射 样品 制备 方法
【主权项】:
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