[发明专利]多晶硅筒加工装置及多晶硅筒加工方法在审
申请号: | 202210596886.5 | 申请日: | 2022-05-30 |
公开(公告)号: | CN114986726A | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 丁亚国;马俊廷;李玲玲;王彦娟;许小鹏;姜永庆;陈荣贵;顾燕滨;李长苏;贺贤汉 | 申请(专利权)人: | 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04;F16N1/00 |
代理公司: | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人: | 杜振学 |
地址: | 750000 宁夏回族自*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本发明提供一种多晶硅筒加工装置,包括机床、刀具基座、圆筒型刀具、导向润滑降温装置,刀具基座安装在机床上,圆筒型刀具的上端安装在刀具基座上,导向润滑降温装置的上端面上预设圆环开槽,圆环开槽的大小和圆筒型刀具的下端口大小相适应,导向润滑降温装置的下端面贴合在准备加工多晶硅锭的上端面上。圆筒型刀具先对导向润滑降温装置掏筒后逐渐接触多晶硅锭的上端面,在圆筒型刀具的刀刃和多晶硅锭上端面之间分散一些石墨碎屑,使圆筒型刀具的刀刃和多晶硅锭上端面转动接触位置处进行润滑,避免了圆筒型刀具和多晶硅锭上端面直接接触进行转动加工而发生刀具损坏或多晶硅筒加工报废。本发明同时还提供一种多晶硅筒加工方法。 | ||
搜索关键词: | 多晶 加工 装置 方法 | ||
【主权项】:
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