[发明专利]气浮支撑机构在审
| 申请号： | 202210599082.0 | 申请日： | 2022-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN114857172A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 杨师;李海彬;关宏武;李龙飞 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;F16C33/72 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 肖鹏 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及精密设备技术领域，尤其是涉及一种气浮支撑机构。气浮支撑机构包括缸体、气浮组件和驱动件，缸体连接于工件台的下方，气浮组件的上端滑动连接于缸体内，下端面对支撑面。缸体能够与外部的缸体气源连通，以向缸体内输送气体并向下推动气浮组件靠近支撑面；驱动件能够驱动气浮组件向上运动以远离支撑面。在使用过程中，当需要使工件台悬浮时，首先向气缸内通入气体以推动气浮组件向下运动至与支撑面相接触，然后撤去临时支撑结构并启动气浮组件，使气浮组件朝向支撑面吹气形成支撑气膜，从而使气浮支撑机构和工件台向上浮起并悬浮于支撑面得上方，且悬浮状态时，缸体和气浮组件能够对工件台提供足够的支撑力。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 机构 | ||
【主权项】：
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