[发明专利]一种微型电磁执行器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210601458.7 | 申请日： | 2022-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN115664154A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 屈明山;熊壮;王月;支钞;李严军;刘宇;王欣玥;张笑 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H02K41/03 | 分类号： | H02K41/03;H02K1/27;H02K3/04;H02K7/02;H02K15/00 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 张益源 |
| 地址： | 621999*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型电磁执行器及其制备方法。该微型电磁执行器包括转子和定子；所述转子包含质量块和永磁薄膜，所述定子的主体为硅基板；所述转子以永磁薄膜在下、质量块在上的方向放置于定子上方，所述定子为同时嵌有驱动线圈和检测线圈的硅基板。该方法包括步骤S1、制备转子；步骤S2、制备定；步骤S3、将转子以永磁薄膜在下、质量块在上的方向放置在定子上方，获得微型电磁执行器。本发明实现了驱动/定位一体化集成的微型电磁执行器，有利于微型电磁执行器的小型化和实用化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 电磁 执行 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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