[发明专利]一种用于LED制程的去蜡液在审
申请号: | 202210603446.8 | 申请日: | 2022-05-31 |
公开(公告)号: | CN114806726A | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 刘小勇;田博;侯琳熙;房龙翔;叶鑫煌;肖小江;刘文生 | 申请(专利权)人: | 福建省佑达环保材料有限公司 |
主分类号: | C11D1/14 | 分类号: | C11D1/14;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/28;C11D3/34;C11D3/43;C11D3/60;C11D11/00;H01L21/02;H01L33/00 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 林文弘;蔡学俊 |
地址: | 362800 福建省泉州市泉*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于LED制程的去蜡液,属于湿电子化学品领域,主要应用于半导体晶圆制造中。该去蜡液通过特定的阴离子表面活性剂、有机溶剂、助溶剂、潜溶剂的优化组合,极大的降低体系表面张力,具有突出的渗透与分散性能,同时具有较强的耐温能力,成本低、去蜡效率高,在较低工作温度下也可以去满足工艺要求,对键合蜡的溶解性高,使用寿命长,材料组成对环境友好,能够满足LED制程的工艺要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 led 去蜡液 | ||
【主权项】:
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