[发明专利]一种用于LED制程的去蜡液在审

专利信息
申请号: 202210603446.8 申请日: 2022-05-31
公开(公告)号: CN114806726A 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 刘小勇;田博;侯琳熙;房龙翔;叶鑫煌;肖小江;刘文生 申请(专利权)人: 福建省佑达环保材料有限公司
主分类号: C11D1/14 分类号: C11D1/14;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/28;C11D3/34;C11D3/43;C11D3/60;C11D11/00;H01L21/02;H01L33/00
代理公司: 福州元创专利商标代理有限公司 35100 代理人: 林文弘;蔡学俊
地址: 362800 福建省泉州市泉*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种用于LED制程的去蜡液,属于湿电子化学品领域,主要应用于半导体晶圆制造中。该去蜡液通过特定的阴离子表面活性剂、有机溶剂、助溶剂、潜溶剂的优化组合,极大的降低体系表面张力,具有突出的渗透与分散性能,同时具有较强的耐温能力,成本低、去蜡效率高,在较低工作温度下也可以去满足工艺要求,对键合蜡的溶解性高,使用寿命长,材料组成对环境友好,能够满足LED制程的工艺要求。
搜索关键词: 一种 用于 led 去蜡液
【主权项】:
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