[发明专利]基于掺镓单晶中镓含量的电阻率控制方法、系统及设备有效
| 申请号： | 202210603932.X | 申请日： | 2022-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN114690643B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 徐志群;汪奇;孙彬;邰文星;马伟萍 | 申请（专利权）人： | 广东高景太阳能科技有限公司;青海高景太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04;H01L31/036;G01R27/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 牛丽霞 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了基于掺镓单晶中镓含量的电阻率控制方法、系统及设备。该方案包括：设置掺镓单晶中的掺镓参考值初值，并通过传感器实时获得电阻率测量值；当电阻率测量值满足预设条件时，发出一级超限命令和二级超限命令；根据电阻率测量值的大小计算目标预测值；根据目标预测值进行在线分析，生成参考值增量和波动调整指令；根据掺镓参考值初值、参考值增量、一级超限命令、二级超限命令和波动调整指令，对掺镓单晶中的掺镓量参考值进行实时修正，根据修正后的掺镓量参考值控制掺镓单晶的电阻率波动。该方案提供通过掺镓单晶镓含量的计算和采集，解决因镓挥发损失造成的电阻率持续上升问题，将单晶的电阻率波动范围控制在1.0%内。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 掺镓单晶中镓 含量 电阻率 控制 方法 系统 设备 | ||
【主权项】：
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