[发明专利]喷嘴型沉积装置

摘要

本发明涉及喷嘴型沉积装置，更详细地，涉及将用于沉积图案的原料按所需提供到图案沉积，并进行沉积可最小化原料的使用量，并且根据仅在需形成图案的部位供给原料，从而可进行精确的图案沉积，并且防止原料的扩散，可从根源上防止原料沉积到其他部位，利用加热气体可防止供给原料的排管及喷嘴的堵塞，并且根据以喷嘴方式供给原料，从而可简易并有效地构成沉积装置的喷嘴型沉积装置。