[发明专利]一种提高MEMS加速度计电容间隙一致性的电极布置方法在审
| 申请号： | 202210608773.2 | 申请日： | 2022-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN115112921A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 胡江 | 申请（专利权）人： | 麦莫斯成都科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 | 代理人： | 张娴 |
| 地址： | 610000 四川省成都市中国(四川)自由贸*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种提高MEMS加速度计电容间隙一致性的电极布置方法，包括衬底，所述衬底的一侧设置有外侧固定梳齿锚点、折叠梁、质量块锚点、质量块、外部可动梳齿、外部固定梳齿、内部固定梳齿锚点和内部固定梳齿，所述外侧固定梳齿锚点、质量块锚点和内部固定梳齿锚点均与衬底固连，具体涉及微电子机械技术领域。该提高MEMS加速度计电容间隙一致性的电极布置方法，通过改善了加速度计的结构，由于形成差分电容的内部梳齿与外部梳齿的空间距离非常近，因此形成差分电容的两个电容的间隙非常一致，从而使加速度计具有非常小的输出偏值，同时具有非常高的线性度和共模效应抑制效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 mems 加速度计 电容 间隙 一致性 电极 布置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于麦莫斯成都科技有限公司，未经麦莫斯成都科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210608773.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种抗菌苯丙树脂及其制备方法
- 下一篇：一次性使用胸腔闭式引流穿刺套件
