[发明专利]一种防止OHT倾斜的双平稳机构在审
| 申请号： | 202210612295.2 | 申请日： | 2022-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN114927452A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 余君山;王伟忠;温孟川;唐凯 | 申请（专利权）人： | 华芯（嘉兴）智能装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人： | 刘静 |
| 地址： | 314213 浙江省嘉兴市平湖市钟埭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种防止OHT倾斜的双平稳机构，属于OHT设备技术领域，包括安装板，安装板上固定连接有滑轨，滑轨上滑动连接有两个滑块，滑块上固定连接有支撑板，两个支撑板的相背面的下端均固定连接有支撑块，在OHT运行的轨道两侧内壁上均设有支撑槽，支撑槽内壁上表面远离OHT的一端朝下倾斜，在支撑板上设有用于驱动两块滑块相对或相向运动的驱动机构，本发明具有使得OHT在进行取放晶圆盒的时候能够同时保证前后两侧力量的平衡，提高了取放晶圆盒的精确度，提高OHT取放晶圆盒时的精准性和稳定性，使得OHT对所装载的晶圆盒所允许产生的旋转力矩更大，能够满足于不同的工况的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 oht 倾斜 平稳 机构 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
