[发明专利]基于PDMS-硅纳米膜的柔性心音传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210612658.2 | 申请日： | 2022-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN114955980A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 王任鑫;郝晓剑;程丽霞;史鹏程;张文栋;张国军;崔建功;杨玉华;何常德 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;B81C3/00;A61B7/02 |
| 代理公司： | 太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙) 14111 | 代理人： | 张宏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明为一种基于PDMS‑硅纳米膜的柔性心音传感器，属于半导体技术领域。该传感器由硅纳米膜和柔性基底PDMS组成，硅纳米膜包括压阻区、欧姆接触区和合金区，合金区的材质为铬和金的合金。制备时在SOI片的上方形成氧化层，经过浓硼扩散后形成欧姆接触区，刻蚀顶层硅后形成压阻区，溅射、腐蚀金属并退火后形成合金区，刻蚀并腐蚀埋氧层后形成屋檐结构，钻蚀埋氧层后形成悬空的硅纳米膜结构，最终将硅纳米膜转印到柔性基底PDMS上。该传感器具有较高的灵敏度，同时由于柔性基底PDMS，增加了传感器的适应性和便捷性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 pdms 纳米 柔性 心音 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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