[发明专利]一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法有效
| 申请号： | 202210617683.X | 申请日： | 2022-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN115055452B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 胡动力;许星杰;赵海殿;刘景和 | 申请（专利权）人： | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027;B08B9/023;B08B9/045;B08B13/00;C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 无锡亿联盛知识产权代理有限公司 32625 | 代理人： | 李晶晶 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于碳化硅技术领域，具体的说是一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法，所述清理座的表面固定连接有夹持座，所述夹持座的数量为多个，且呈等距离连接在清理座的上表面；每个夹持座的内部均设置有石英管本体，所述清理座的后侧固定连接有气缸架，所述气缸架的下方设置有连接板，所述连接板的下表面固定连接有多个与石英管本体呈对应设置的压柱；在清理过程中刮板能够起到边向下边转动的状态对石英管本体内壁刮除清理；使石英管本体的内壁逐渐清洁；且避免了现如今需要工作人员需要手动清理的现象，同时能够自上而下对石英管本体进行清理，可以适用不同高度的石英管；且安全性高；为之后石英管的使用带来了便捷性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体生长 石英管 清理 方法 | ||
【主权项】：
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