[发明专利]一种硼硅玻璃亲水性键合方法在审
| 申请号： | 202210617935.9 | 申请日： | 2022-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN114920468A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 张彦云;王乙瑾;褚祝军;马怀超;常乐;黄国辉;田文泽;满瑞;吕德文;罗俊涛 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C27/06 | 分类号： | C03C27/06;C03C23/00 |
| 代理公司： | 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 | 代理人： | 赛晓刚 |
| 地址： | 650217 *** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硼硅玻璃的亲水性键合方法，包括：1)通过去离子水、丙酮、乙醇和RCA2溶液对基片进行清洗，之后乙醇脱水并吹干基片；2)采用射频等离子体对基片进行等离子活化；3)亲水处理，将碱性活化液滴加于等离子活化后的基片的待键合面上之后，将两基片贴合，在高湿度环境下保湿20～24h；4)二次清洗及贴合，将基片置于去离子水中分开，用去离子水进行冲洗和超声清洗，之后于水中再次贴合；5)高温烘烤，将二次贴合后的基片置于高温真空环境中按烘烤，烘烤后自然冷却至室温，完成键合。键合过程无需加压，对基片热影响小，键合均匀性性良好，界面无气泡、空洞，粘接牢固，适用于半导体材料和传统光学玻璃材料的键合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 亲水性 方法 | ||
【主权项】：
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