[发明专利]水下光电探测阵列及制备方法

摘要

本发明提供一种水下光电探测阵列，包括：衬底和光电晶体管。多个所述光电晶体管集成到所述衬底上，光电晶体管包括：栅电极，设置于所述衬底之上；介质层，覆盖于所述栅电极表面；掺杂纳米线，设置于所述介质层之上，适用于俘获光电子并将俘获的光电子贮存在杂质和缺陷能级中；源电极，覆盖于所述掺杂纳米线的一端的表面；漏电极，覆盖于所述掺杂纳米线的另一端的表面；以及防水封装层，覆盖于源电极、漏电极以及裸露的所述掺杂纳米线的表面，以阻隔掺杂纳米线与外界接触。本发明还提供一种水下光电探测阵列的制备方法。