[发明专利]基于纳米类金刚石薄膜的直立石墨烯复合物制备方法在审
| 申请号： | 202210621350.4 | 申请日： | 2022-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN114941128A | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 郭鑫;游亚军 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于纳米类金刚石薄膜的直立石墨烯复合物制备方法，涉及直立石墨烯复合物制备技术领域，包括以下步骤：a，通过磁控溅射将金属催化剂均匀溅射在基底表面；b，将步骤a制备的溅射有金属催化剂薄膜的基底置于含碳气体环境中，制得纳米类金刚石薄膜；c，将步骤b制得的沉积纳米类金刚石薄膜的基底，置于氢气环境下，缓慢升温，随后维持使纳米类金刚石石墨化，得到基于纳米类金刚石薄膜的直立石墨烯复合物薄膜。通过产物扫描电镜照片，直立石墨烯生长在纳米类金刚石薄膜表面，有效提升与基底的附着力，适用于一些特殊功能器件，解决了形成的直立石墨烯层微观上底部有较多无定形碳影响材料质量和性能等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 金刚石 薄膜 直立 石墨 复合物 制备 方法 | ||
【主权项】：
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