[发明专利]一种掺杂金属氧化物复合层结构有效
| 申请号： | 202210623053.3 | 申请日： | 2022-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN115172602B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 杨新波;苏兆俊;张晓宏 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | H10K30/85 | 分类号： | H10K30/85;H10K30/86;H10K30/88;H10K30/50;H10K39/15 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 夏苏娟 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明属于太阳能电池技术领域，具体涉及一种原子层沉积(ALD)掺杂金属氧化物复合层结构。本发明给出一种基于ALD连续沉积的宽禁带掺杂金属氧化物隧穿结，该结构包括一层ALD沉积金属氧化物电子传输层(包括TiO |
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| 搜索关键词： | 一种 掺杂 金属 氧化物 复合 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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