[发明专利]三维点光谱共焦传感方法与系统在审
| 申请号： | 202210624626.4 | 申请日： | 2022-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN115143882A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 王伟波;邓楠;魏泷;邢华明;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G02B27/10;G02B27/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三维点光谱共焦传感方法与系统，装置由白光LED光源、色散镜头组件、信号探测装置和光谱解调装置组成，各部分通过光纤耦合器进行连接。本发明通过衍射透镜配合非球面透镜组成色散镜头，配合宽谱段白光LED光源可生成大范围的轴向色散，同时简化色散镜头结构；横向和轴向探测分别由信号探测装置和光谱解调装置完成，避免由于解调光路像差导致的横向分辨率降低；光谱解调装置采用线性渐变滤光片将不同波长展开，可直接成像在探测器上，减小了系统的体积，降低了装调的难度；测量数据通过算法处理对样品表面进行重构。本发明可通过对样品的二维扫描获得高精度三维形貌信息，系统结构紧凑，且探测器采用光电倍增管和线阵相机，具有高测量速度。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 光谱 传感 方法 系统 | ||
【主权项】：
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