[发明专利]一种采用激光焊接制备柔性忆阻器的方法在审
| 申请号： | 202210627952.0 | 申请日： | 2022-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN114951998A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 赵波;刘菁;张建 | 申请（专利权）人： | 江苏师范大学;苏师大半导体材料与设备研究院（邳州）有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/21 | 分类号： | B23K26/21;B23K26/60;B23K26/70 |
| 代理公司： | 南京合砺专利商标代理事务所(普通合伙) 32518 | 代理人： | 许云花 |
| 地址： | 221116 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用激光焊接制备柔性忆阻器的方法，首先在等离子体处理后的柔性基底上镀覆一对金属电极，并在该金属电极表面沉积氧化物纳米线材料，使得该纳米线材料与金属电极的两端相连接；其次在激光功率50‑200mW、激光光束直径1‑5μm、激光重复频率50‑100MHz条件下对纳米线材料和金属电极的连接处实施激光焊接，制得忆阻器。该方法通过采用飞秒激光的超快电磁作用，非接触式焊接方式使得纳米线与电极形成牢固机械和电学接触，对纳米线、电极和柔性衬底无损伤，提高了制备的忆阻器的阻变转换耐受性和弯曲疲劳耐久性，优化了柔性忆阻器的性能，且器件结构简单，功耗低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 激光 焊接 制备 柔性 忆阻器 方法 | ||
【主权项】：
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