[发明专利]回音壁模式温度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210629127.4 | 申请日： | 2022-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN114993510A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 侯飞杨;冯胜飞 | 申请（专利权）人： | 首都师范大学 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 朱丽娟 |
| 地址： | 100089 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种回音壁模式温度传感器及其制备方法。一种回音壁模式温度传感器的制备方法，包括如下步骤：在多芯光纤的端面通过光刻技术写出光波输入结构、光波输出结构、光波导、微球底座及微漏斗，其中所述光波输入结构与光波输出结构分别对应覆盖所述多芯光纤的任两根纤芯，所述光波导连接于所述光波输入结构与所述光波输出结构之间；对所述光波输入结构、光波输出结构、光波导、微球底座以及微漏斗进行显影及固化；将微球通过所述微漏斗组装至所述微球底座，直至所述微球与所述光波导相互耦合。使用上述制备方法制备出的回音壁模式温度传感器，具有空间需求小、测量准确性高等特点，能够适应空间狭小环境下的温度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 回音壁 模式 温度传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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