[发明专利]一种柔性气体传感器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202210631455.8 申请日: 2022-06-06
公开(公告)号: CN114878643A 公开(公告)日: 2022-08-09
发明(设计)人: 刘俐;付林正;赵维玮;陈志文;杨全岭;刘生发 申请(专利权)人: 武汉理工大学
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12
代理公司: 济南佰智蔚然知识产权代理事务所(普通合伙) 37285 代理人: 赵允洲
地址: 430070 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种柔性气体传感器,包括依次设置的柔性衬底、电极和气体敏感层,所述电极与气体敏感层形成导电通路,所述电极上设有引线,所述引线与外部电路连接。本发明所制备的柔性气体传感器其整体结构均能在比较高的温度(200~350℃)下运行,解决了柔性传感器难以在高温环境检测有毒气体的难题,而且本发明柔性气体传感器的电极以及柔性衬底均采用柔韧性良好的材料,使得本发明柔性气体传感器在弯曲过程中仍能正常运行,气体敏感层使用的金属半导体氧化物,通过接触CO改变自身阻值,以实现气体检测的快速响应与恢复。同时该柔性传感器均是通过简单的工艺制备而成,成本低,可以批量成产。
搜索关键词: 一种 柔性 气体 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
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