[发明专利]一种加工工件疏水表面的金刚石微纳复合结构工具及制备方法

摘要

一种加工工件疏水表面的金刚石微纳复合结构工具及制备方法，其特征是：首先在衬底上沉积纳米金刚石薄膜，再使用皮秒激光在不锈钢带等工件上加工出位置及尺寸可控的微米级阵列图案的掩膜板，将掩膜版固定在金刚石薄膜样品上，然后用磁控溅射设备通过掩膜板在纳米金刚石薄膜上沉积金属掩膜点阵列。使用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备对工具进行反应离子刻蚀，制备出形状及位置可控的微米凸台，待使用酸性溶液清洗金属掩膜点后，用MPCVD设备对金刚石工具进行二次刻蚀形成纳米锥阵列即得到金刚石微纳阵列工具。本发明具有加工工艺简单、操作容易、成本低、高精度、高效率的特点，能够对单晶硅、金属等表面进行大面积广域加工。