[发明专利]一种压电快速反射镜高精度输出反馈控制方法及装置在审
| 申请号： | 202210639519.9 | 申请日： | 2022-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN114995142A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 徐瑞;王昱棠;田大鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 孟洁 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及高精密运动控制领域，具体涉及一种压电快速反射镜高精度输出反馈控制方法及装置，方法包括：基于状态观测器的压电快速反射镜设计迟滞估计器；基于所述迟滞估计器设计压电快速反射镜的反馈控制器；将所述反馈控制器的输出值输入至所述压电快速反射镜，实现所述压电快速反射镜的高精度运动及控制；本发明将迟滞估计器引入到状态反馈控制器的设计过程中，避免了迟滞建模过程，可有效提高压电快速反射镜的高精度控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 快速 反射 高精度 输出 反馈 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
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