[发明专利]一种双涡旋波片穆勒矩阵椭偏仪及其测量方法在审
申请号: | 202210640130.6 | 申请日: | 2022-06-07 |
公开(公告)号: | CN115060658A | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
发明(设计)人: | 雷兵;高超;王富杰;文雪可 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科技大学 |
主分类号: | G01N21/21 | 分类号: | G01N21/21 |
代理公司: | 国防科技大学专利服务中心 43202 | 代理人: | 关洪涛 |
地址: | 410073 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 一种双涡旋波片穆勒矩阵椭偏仪及其测量方法,双涡旋波片穆勒矩阵椭偏仪包括:起偏调制单元,起偏调制单元包括:光源、起偏器和第一涡旋四分之一波片,检偏调制单元包括第二涡旋四分之一波片和检偏器;图像传感器,图像传感器适于对检偏器的出射光束进行采样以得到光强调制图像,光强调制图像随光强调制图像的方位角呈明暗交替变化;第一分析单元、第二分析单元和第三分析单元,第一分析单元适于根据光强调制图像得到光强调制函数;第二分析单元适于对光强调制函数进行傅里叶分析以得到傅里叶表达式;第三分析单元适于根据傅里叶表达式中的系数获取待测样品的穆勒矩阵。双涡旋波片穆勒矩阵椭偏仪结构简单、稳定性好、测量速度快、解算过程简单。 | ||
搜索关键词: | 一种 涡旋 穆勒 矩阵 椭偏仪 及其 测量方法 | ||
【主权项】:
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