[发明专利]一种柔性离电式三维力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210641625.0 | 申请日： | 2022-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN115060406A | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 赵云彪;王启宁;麦金耿 | 申请（专利权）人： | 北京工道风行智能技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L5/165 | 分类号： | G01L5/165;G01L1/14 |
| 代理公司： | 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 | 代理人： | 韩迎之 |
| 地址： | 100089 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性离电式三维力传感器及其制备方法，涉及三维力传感器技术领域，包括依次设置的凸起触头、第一层电极阵列、带有分级微结构的离子凝胶薄膜、第二层电极阵列；所述带有分级微结构的离子凝胶薄膜位于介电层表面，在所述凸起触头和第一层电极阵列之间增加方台凸起，所述分级微结构包括微半球阵列，所述微半球阵列的每个微半球结构上均设置有微柱阵列。本发明能够提升三维力传感器的电容密度，增加传感灵敏度和抗干扰能力，提高空间分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 离电式 三维 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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