[发明专利]检测SEM设备的测量误差的方法及对准SEM设备的方法在审
| 申请号： | 202210645955.7 | 申请日： | 2022-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN115704783A | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 郭鲁洪;金度年;南润炯;姜旻澈;金基贤 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社;首尔大学校产学协力团 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种通过将设计图像与SEM图像进行比较和对准来准确地检测SEM设备的测量误差的方法以及基于检测到的测量误差准确地对准SEM设备的方法。检测SEM设备的测量误差的方法包括：获取测量目标的SEM图像；对所述SEM图像以及与所述SEM图像对应的设计图像执行预处理；从所述SEM图像之中选择训练SEM图像；通过使用所述训练SEM图像以及训练设计图像执行训练，以生成所述SEM图像与所述设计图像之间的转换模型；通过使用所述转换模型将所述SEM图像转换为转换设计图像；通过将所述转换设计图像与所述设计图像进行比较和对准来提取对准坐标值；以及基于所述对准坐标值确定所述SEM设备的测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 sem 设备 测量误差 方法 对准 | ||
【主权项】：
暂无信息
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