[发明专利]一种绝缘栅双极晶体管及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202210646218.9 申请日: 2022-06-08
公开(公告)号: CN115020488A 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 高明超;金锐;王耀华;刘江;李立;晁武杰 申请(专利权)人: 国网智能电网研究院有限公司;国家电网有限公司;国网福建省电力有限公司电力科学研究院
主分类号: H01L29/739 分类号: H01L29/739;H01L29/06;H01L23/48;H01L21/331
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 薛异荣
地址: 102209 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种绝缘栅双极晶体管及其制作方法,绝缘栅双极晶体管包括:体层,所述体层包括元胞区和环绕元胞区的过渡区,所述过渡区包括汇流区;栅极结构,位于部分元胞区上或者部分元胞区中;位于汇流区上的栅汇流条,所述栅汇流条与栅极结构的部分边缘之间具有第一开口;镇流结构,位于汇流区中且延伸至第一开口底部的部分元胞区中;阱区,位于栅极结构周围的部分元胞区中,第一开口底部的体层中具有阱区,所述阱区的导电类型与所述镇流结构的导电类型相同;位于阱区的顶部区域中的源掺杂区,所述源掺杂区的导电类型与所述阱区的导电类型相反,所述源掺杂区与所述镇流结构间隔。上述绝缘栅双极晶体管能够缓解元胞区电流集中,降低闩锁风险。
搜索关键词: 一种 绝缘 双极晶体管 及其 制作方法
【主权项】:
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