[发明专利]一种绝缘栅双极晶体管及其制作方法在审
申请号: | 202210646218.9 | 申请日: | 2022-06-08 |
公开(公告)号: | CN115020488A | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 高明超;金锐;王耀华;刘江;李立;晁武杰 | 申请(专利权)人: | 国网智能电网研究院有限公司;国家电网有限公司;国网福建省电力有限公司电力科学研究院 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/06;H01L23/48;H01L21/331 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 薛异荣 |
地址: | 102209 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种绝缘栅双极晶体管及其制作方法,绝缘栅双极晶体管包括:体层,所述体层包括元胞区和环绕元胞区的过渡区,所述过渡区包括汇流区;栅极结构,位于部分元胞区上或者部分元胞区中;位于汇流区上的栅汇流条,所述栅汇流条与栅极结构的部分边缘之间具有第一开口;镇流结构,位于汇流区中且延伸至第一开口底部的部分元胞区中;阱区,位于栅极结构周围的部分元胞区中,第一开口底部的体层中具有阱区,所述阱区的导电类型与所述镇流结构的导电类型相同;位于阱区的顶部区域中的源掺杂区,所述源掺杂区的导电类型与所述阱区的导电类型相反,所述源掺杂区与所述镇流结构间隔。上述绝缘栅双极晶体管能够缓解元胞区电流集中,降低闩锁风险。 | ||
搜索关键词: | 一种 绝缘 双极晶体管 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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